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      微納加工技術(shù)

      微納加工技術(shù)

      騰景科技現(xiàn)已建立衍射光學(xué)設(shè)計、全息光刻、激光直寫、干法刻蝕、納米壓印、鍍膜、精密切割和測試等全方位的技術(shù)能力。

       

      復(fù)雜DOE的設(shè)計能力

      全息光刻:孔徑40X10mm、光柵周期0.1-3000 線對/mm

      激光直寫:DOE制作

      干法刻蝕:介質(zhì)和金屬

      納米壓?。汗鈻?、波導(dǎo)、偏振片

      支持多種材質(zhì):各種介質(zhì)氧化物,硅,熔石英,或聚合物

      用途:單色分束,光譜儀器,色散補償,CGH球差補償,

      以及高能激光合束等

       

      ?體布拉格光柵(VBG) :  已有現(xiàn)成產(chǎn)品批量發(fā)貨

      -激光鎖模,窄帶濾波
      -高功率合束
      -脈沖整形

      ?WSS 光柵:可送樣

      ?Diffuser/DOE:可送樣